離子注入是一種將特定離子在電場裡加速，然后嵌入到另一固體材料之中的技术手段。使用這個技术可以改變固體材料的物理化學性質，现在已经广泛应用于半導體器件製造和某些材料科學研究。離子注入可以導致核轉換，或改變某些固体材料的晶體結構。
| 「离子注入」的各地常用名稱 |
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| 中国大陸 | 离子注入 |
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| 臺灣 | 離子佈植[1]、離子植入[2] |
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| 港澳 | 離子注入[3] |
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一離子注入系統
- 李佳翰. 離子植入. 科技網. 2015-05-07 [2023-12-25]. （原始内容存档于2023-12-26） （中文）.
- 第八章 離子佈植 (PDF). 國立台灣大學化學工程學系能源材料實驗室. [2023-12-25]. （原始内容 (PDF)存档于2016-05-27） （中文（臺灣））.
